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纳米级超高分辨率显微成像是检测纳米尺度结构和性质的重要手段,尤其是能同时表征科学样品和工业产品表面及内部纳米结构信息的显微成像仪器,在材料、医学、生物工程、纳米制造等基础研究与应用工程领域具有至关重要的作用。本文在扫描探针显微镜的基础上,结合超声波的特性研发出来一种新型显微成像技术——高频复合超声扫描探针显微镜,在获得样品形貌像的同时,能无损地获得样品内部纳米级结构的声学像。本论文用标准定标物及设计的样品对高频复合超声扫描探针显微镜的常用技术指标进行检测;通过测量,仪器的横向分辨率及垂直分辨率可达0