MEMS用硅基永磁薄膜阵列设计与制备研究

被引量 : 3次 | 上传用户:hsmk888
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
本文利用磁场解析计算方法研究了永磁薄膜阵列的磁场分布,理论上计算了薄膜阵列单元的尺寸和间距对永磁薄膜阵列工作点的影响规律,计算了周围阵列单元对中心单元工作点的影响。在此基础上,按照永磁薄膜阵列的“有效磁化强度”磁性能优化指标,求出了一个较理想的永磁薄膜阵列设计方案:对10微米厚的永磁薄膜,阵列单元为40μm×40μm,间距为10μm。本文利用有限元分析方法初步研究了各向异性永磁薄膜阵列的磁性能,得到了关于永磁薄膜阵列的磁化特征,验证了解析计算采用的均匀磁化假设的合理性,同时分析
其他文献
本文通过对荣华二采区10
期刊
该研究首先根据激光诱导自蔓延高温合成TiNi合金的需要,改装了一套激光反应装置.经过改装,该装置基本可以满足激光诱导点火Ti-Ni合金的需要.新设备的优点包括可以选择点火模
期刊
制造过程监控技术是制造自动化的关键技术基础,也是近年来发展最迅猛的综合性应用技术之一.时间序列分析方法原是数理统计学的一个分支,是从具有先后顺序的信号中提取有用信
根据企业现状和前轴工艺设计特点,并结合CAPP系统的发展趋势,采用综合式CAPP系统的构架开发了汽车前轴工艺计算机辅助设计与管理软件,软件兼备派生式CAPP和创成式CAPP系统的特点