【摘 要】
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电感测微仪是一种高分辨力、使用寿命长、工作性能稳定的测量仪器,应用于微位移测量已经有很长的历史.其工作原理是建立在电磁感应基础上,利用线圈的自感或互感变化实现非电
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电感测微仪是一种高分辨力、使用寿命长、工作性能稳定的测量仪器,应用于微位移测量已经有很长的历史.其工作原理是建立在电磁感应基础上,利用线圈的自感或互感变化实现非电量电测.主要应用于接触式测量,既可以单独使用,也可以和多个传感器一起使用.国外生产的电感测微仪比较成熟,精度高、性能稳定,但价格昂贵.国内生产的电感测微仪普遍存在漂移大、工作可靠性不高、高精度量程范围小的问题,与国外同类产品水平有一定的差距.该文对课题的研究内容做了较为全面的论述,包括非线性补偿方案的确定和系统软件设计.首先针对电感测微仪在大量程范围内线性度差的问题,通过对非线性补偿常用方法的比较,在详细研究传感器特性曲线的基础上,确定了使用分段非线性补偿的方案.然后对于软件设计给出了详细的设计流程和分析说明.该课题通过软件对电感测微仪在大量程范围内进行分段非线性补偿,达到了线性化的目的.对于采样数据中夹杂的各种随机噪声,采用了中值平均滤波实现了软件抗干扰,使测量精度得到进一步的提高,并且通过软件实现了可视化数据处理.最后,使用双频激光测长仪作为校准装置标定电感测微仪的非线性补偿系数,采用了高次拟合和分段拟合两种非线性补偿方法对得到的实验数据进行了分析和比较.该课题通过软件对电感测微仪进行非线性补偿,为其成为一个通用化、商品化的产品打下了一定的基础.
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