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【摘 要】
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电子制造向短时效、集成化、小型化、小批量、多品种以及三维制造的方向发展，对快速高效低成本的制造技术有着强烈的需求。直写技术由于具有无需掩膜、精度高、易于修改、研制
【机 构】
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华中科技大学
【出 处】
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华中科技大学
【发表日期】
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2006年期
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