宏微驱动回转进给系统研究

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宏微驱动技术是随着超精密技术的需求应运而生的。由于该技术能满足较大的运动范围和较高的运动精度要求,所以它被广泛的应用于微电子、航空航天、军事等高科技领域。国内外对宏微驱动的直线进给技术研究比较多,但作为主要运动形式之一的回转运动,宏微驱动技术在此的技术研究却很少。  本文在对国内外相关宏微技术文献的研究基础上,设计了一套可将直线微动转换为回转运动的回转进给系统,用运动学方法计算分析微动机构运动转换特性,通过实验检验其传动特性,分析计算其承载特性,并对相关宏动回转轴进行检测实验。本文的主要研究内容包括:  (1)在大量查阅国内外文献的基础上,提出宏微驱动回转进给系统的设计方案,完成系统的结构设计;  (2)分析该系统的特性,对其重点研究内容进行规划;  (3)用运动学方法分析计算微动机构的运动转换特性,并用实验检验其传动特性,最后用有限元分析其传动转换特性;  (4)用雅克比矩阵分析计算微动机构的承载特性,并用实验检验微动机构的刚度;  (5)对宏动回转轴的相关精度进行检测,主要包括:宏动回转轴静特性实验、回转轴共面度检测等。  通过研究证明了该论文宏微驱动回转进给系统研究的意义和可行性。
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