薄膜气体传感器及四单元微结构气体传感器阵列的研究

来源 :吉林大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:VictorXie
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该文采用等离子体增强化学气相淀积技术制备了SnO<,2>、Fe<,2>O<,3>、WO<,3>、TiO<,2>、聚苯胺等薄膜,采用溶胶-聚胶技术成功地制备了V<,2>O<,5>、WO<,3>和H<2-X>(NH<,4>)<,X>V<,12-y>Mo<,y>O<,31±δ>n·H<,2>O(0≤x≤2,0≤y≤3)干凝胶等薄膜.研究了等离子体增强化学气相淀积工艺条件对薄膜生长规律的影响.采用X射线衍射、X射线光电子能谱、红外光谱、扫描电镜等手段对所制备的薄膜材料进行了表征.将SnO<,2>、Fe<,2>O<,3>、WO<,3>、TiO<,2>、聚苯胺和V<,2>O<,5>等材料制成单层薄膜或多层复合膜,研究了这些薄膜对H<,2>S、C<,2>H<,5>OH、TMA、CO、NO<,2>等气体的敏感特性,还研究了H<2-X>(NH<,4>)<,X>V<,12-y>Mo<,y>O<,31±δ>n·H<,2>O(0≤x≤2,0≤y≤3)干凝胶薄膜的湿敏牧场生.在成功研究高元件的基础上,在微结构衬底上制备了四单元集成气体传感器阵列,并研究了阵列气敏特性.因为阵列测试的需要,该文研制了四通道气体传感阵列阻值测量系统.该文还深入分析了气体在半导体表面的反应过程和半导体敏感机理.
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