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微纳尺度对象是微机电系统中最广泛的操作目标,其特征尺寸主要介于毫米和纳米范围内的微小物体。随着微操作技术的不断拓展,使得对微操作的理论方法及技术研究提出了更高的挑战。当操作对象尺寸进入微尺度范围,由于存在尺度效应和表面效应等问题,这时微观粘着力(包括范德华作用力、静电力、毛细作用力等)便起到主导作用。为了实现100 μm尺度以下的微对象的操作转移,本文提出了基于毛细作用和压电振动辅助的微对象操作方法。分析了基于毛细力拾取及压电振动摩擦释放微对象的可行性,最后通过实验验证了该方法的可靠性。本文首先从微