基于波导耦合的小发散角半导体光放大器和FP腔激光器的研究

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半导体激光器和光放大器在光通信、光互联中有着极其广泛的应用。受限于非对称、小尺寸的有源区,其远场光斑不对称且发散角通常较大,因此与光纤的耦合效率较低,从而导致功耗和封装成本增加。本文提出了一种小发散角的半导体光放大器(Semiconductor Optical Amplifier,SOA)和一种小发散角的法布里-玻罗(Fabry-Pérot,FP)激光器,并分别对它们进行了优化设计和实验研究。本文的主要内容包括以下几个方面:(1)分别介绍了小发散角SOA和小发散角半导体激光器的实现方案,并指出存在于前者的可靠性隐患和后者的阈值电流大、不易集成,以及它们共有的制造成本高等缺点。(2)首先介绍了耦合平板波导(Slab-coupled Waveguide,SCW)的导波原理和耦合波理论,然后对用于器件横截面结构设计的模式求解器和用于器件性能仿真的宽带行波模型做了研究,最后编写了这两个模型的计算程序并进行验证,为器件设计提供了有效的仿真工具。(3)设计了一种基于耦合平板波导结构的小发散角半导体光放大器(SCWSOA),其采用传统的刻蚀方式,能够避免有源区被暴露在空气中。仿真结果表明,SCW-SOA的水平和垂直发散角可以减小到20°以下,小信号增益和饱和输入功率分别可达25.9 dB和6.6 dBm。采用常规工艺制备了SCW-SOA的芯片,测试结果表明该器件仅支持单横模工作,其远场发散角为12.7°×26.5°(水平×垂直),与作为对比的常规SOA相比垂直发散角减小一半以上。(4)设计了一种双波导结构的小发散角FP腔激光器,并对其横截面结构和锥形脊段的长度进行了详细地优化。在锥形脊和下部无源波导的作用下,其发散角因输出基模的面积大幅增加而减小。仿真结果表明,与直脊的双波导FP腔激光器相比,其垂直发散角可由28.5°减小到14.3°,且静态和动态特性没有明显的劣化。此外,对其横截面结构进行了拓展设计,使得输出基模的光场分布更均匀、模斑面积更大,所得结果表明该结构有潜力用于制造需要避免端面光学损伤的大功率半导体激光器。
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