【摘 要】
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该文通过探讨改变基体表面几何形貌对膜的形核的影响,提出了基体表面形貌的理论几何模型,基于基体表面能,建立稳定原子簇团生长的数学表达式来分析和预测形核的整个过程.并借
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该文通过探讨改变基体表面几何形貌对膜的形核的影响,提出了基体表面形貌的理论几何模型,基于基体表面能,建立稳定原子簇团生长的数学表达式来分析和预测形核的整个过程.并借助蒙特卡罗(MonteCarlo)的基本思想,建立了一种新的模型,对薄膜生长初期的微观结构和形貌的形成进行了模拟分析.实验对部分的模拟结果进行了必要的验证,从比较分析的结果中发现:岛状生长模式在以1Cr18Ni9Ti为基体上沉积MoS<,2>膜的SEM图中可以清楚的观察到,并且MoS<,2>膜在不同沉积阶段的形貌变化可以与模拟的结果基本保持一致:在以ICr18Ni9Ti为基体上沉积TiN膜的SEM图中发现,在不同温度下,沉积所形成的晶体的大小变化过程间接反映了模拟结果的正确性.
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