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薄膜/基体系统作为一种表面工程技术近年来发展迅猛,被应用于多个领域。为了建立对薄膜/基体这种结构的完善强度、寿命理论和失效准则,开始研究针对不同单质材料膜/基系统的力学特征。这样不仅可以促进开发薄膜材料,优化薄膜制备工艺,提升膜/基系统的整体性能,同时对推动低维材料力学性能的的研究做出一些基础性工作。本研究首先利用纳米压痕实验测定了氮化钛薄膜/高速钢基体中薄膜的弹性模量和硬度,并得到了纳米压痕过程中的载荷-位移曲线;其次,通过有限元分析,模拟出Berkovich压头压入薄膜120nm的纳米压