【摘 要】
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该文试图对数种气相生长金刚石薄膜的热力学模型,包括F.W.Smith的准平衡模型,Tsuda等的CH,CH表面生长模型,Frenklach和Spear模型以及化学泵模型进行综合并改进.所提出的新模
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该文试图对数种气相生长金刚石薄膜的热力学模型,包括F.W.Smith的准平衡模型,Tsuda等的CH<,3>,CH<,3+>表面生长模型,Frenklach和Spear模型以及化学泵模型进行综合并改进.所提出的新模型具有以下特点:构造了金刚石的表面生长的两种模型;提出了一个粗略的气体在热丝与衬底间的传质模型;讨论了气相组分对表面反应的重要影响,并由相应的热力学计算指出了金刚石和石墨相的生长范围,从而说明了实验上当C/C+H过大或热丝温度低于一定值时难以生成金刚石的原因.
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