SnO<,2>:Fe<,2>O<,3>混合薄膜的制备及其气敏反射光谱特性研究

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二氧化锡的气敏效应已经应用于半导体电阻型气敏器件,郑顺镟等人于1988年首先发现了二氧化锡薄膜的气敏光学效应,并研究了不同掺杂的二氧化锡薄膜的气敏反射光谱和透射光谱.氧化铁也是一种重要的半导体气敏电阻型材料,该文用溶胶—凝胶法制备薄膜的技术,成功地制备了Sn和Fe摩尔比为1:1的均匀透明的SnO<,2>:Fe<,2>O<,3>混合薄膜,并研究了其在可见光附近丙酮、乙醇、氨蒸气中的气敏反射光谱.实验中发现薄膜出现反射峰;在近红外区,相对反射率随气体浓度的增大而逐渐减小,到高浓度时又有一定的回升;在短波区域相对反射率随气体浓度的增大而略有上升,并都伴有反射峰蓝移现象.结合半导体表面物理、电子理论、薄膜光学理论以及散射理论,解释了实验的现象.为气敏光纤传感技术提供有价值的参考.
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