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电场调控的各向异性热熔制备微纳Ag互连研究
【摘 要】
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随着集成电路技术的飞速发展,微电子器件的生产对图形转移技术的工艺要求越来越高,纳米压印技术作为一种高分辨率、高产量、低成本的图形转移技术,具有巨大的应用前景。基于假塑性金属流体的纳米压印技术可以用来制备金属银互连线,但压印后得到的银线条结构疏松、且存在大量溶剂,导致其导电性很差,需要后续的热处理工艺使其更加致密,但热处理后银互连线的各向同性收缩会导致作为关键工艺参数的特征线宽受到影响。本文通过在银
【机 构】
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郑州大学
【出 处】
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郑州大学
【发表日期】
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2019年07期
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