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介绍了CCD图像传感器的原理、CCD图像传感器的制造技术,背照式CCD图像传感器的现状及发展,背照式图像传感器工作原理、工艺原理、结构及应用情况。着重介绍了背照式图像传感器设计及制作的关键工艺技术,并给出了器件的性能测试结果。设计了背照式CCD图像传感器,包括纵向和横向结构,说明了设计的理由。给出了重要参数的设计值及其计算过程。背照式CCD图像传感器工艺是正照CCD图像传感器工艺与背照工艺的结合,正照CCD工艺在文中称为前部工艺,与背照工艺关密切相关,针对背照工艺的特点,设计并进行了与常规不同的前部工艺流程与具体工艺条件,制作出了满足背照工艺开发要求的CCD图像传感器。背照式图像传感器工艺复杂,制作难度和制作成本均明显高于正照式图像传感器,其性能也明显优于正照式图像传感器,文中按照工艺次序依次介绍了如何将正照式图像传感器制作成背照式图像传感器。通过制作夹具,选择不同类型的粘接胶,最终实现了6英寸圆片级粘接工艺,整个圆片内厚度均匀性小于10微米。研究了背面减薄工艺对图像传感器成像质量和量子效率的影响,开发了研磨减薄与湿法腐蚀减薄相结合的方法,成功将圆片减薄至15微米以下。阐述了背照式图像传感器减薄及背面钝化的机理,介绍了背面钝化工艺的发展及基本原理,通过离子注入的方式形成背面钝化层,由于不能采用高温炉管退火,因此开发了激光退火工艺,成功激活了注入的杂质,实现了背面钝化。通过对工艺开发及优化,研制出了背照式图像传感器,经参数测试器件性能指标达到了指标要求。