论文部分内容阅读
随着科技的进步,空间天文光学、卫星遥感技术、大型地基光学系统的快速发展,对光学系统工件的质量、分辨率、稳定性、表面粗糙度等各方面性能参数要求极为苛刻。尤其针对工件表面粗糙度,要求达到超光滑表面。然而传统的研抛方法难以同时保证加工效率、精度与表面质量,在加工工件表面过程中难免会引入加工损伤。因此,世界光学制造界的学者致力研究超光滑表面的加工机理和工艺,以期实现更高精度更高效率的超光滑表面加工。本文采用紫外光诱导纳米颗粒胶体射流抛光技术,有望获得便捷、高效、绿色的超光滑表面加工方法,并且可加工表面复杂的