【摘 要】
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该文对基于电视图象扫描原理的线宽测量系统进行了实用化研究,论述了系统的测量原理和边缘探测算法,给出了典型样品的实验结果及误差分析.为了进一步完善系统的自动调焦功能,
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该文对基于电视图象扫描原理的线宽测量系统进行了实用化研究,论述了系统的测量原理和边缘探测算法,给出了典型样品的实验结果及误差分析.为了进一步完善系统的自动调焦功能,该文对图象清晰度判据函数的选取和图象噪声的滤除进行了深入的研究,采用了对图象数据先进行同态滤波再计算判据函数值的新方法;同时根据实际情况对调焦时最佳物面的搜索等问题进行了讨论.论文运用可靠性工程的方法,对系统可靠性进行了进一步验证和改进.实验结果表明,该系统能对掩模板及硅片上的不同膜层的线条宽度进行测量,测量重复精度为±0.02μm(3σ,100×物镜),测量范围为1~60μm,测量时间为3~6秒;使用高倍物镜时,自动调焦精度可达±0.3μm(1σ).线宽测量仪已达到了国家"八五"重点科技攻关项目规定的各项技术指标要求,通过了鉴定和验收.
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