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经济全球化发展日趋加快的今天，外商直接投资成为各个国家经济发展的有效载体。特别是我国在2001年加入国际世贸组织以来，外商直接投资总量不断扩大，外商投资不仅限于我国沿海经济较为发达城市，对于中部和西部的经济发展做出卓越的贡献。在外商直接投资的过程中，由于投资环境以及市场环境的不断改善，区域产业集聚在规模和数量上呈现上升趋势。外商直接投资通过资金、生产技术、管理水平等方面对当地企业产生影响，从而提高区域内产业集聚程度，由于产业集聚的溢出效应同样可以作用于地区经济发展，所以产业集聚也成为外商直接投资与区域经济发展的重要载体。高新技术产业作为技术密集型行业，对于研究与开发投入、从业人员知识技术水平要求更为严苛，通过对外商直接投资的利用进而提升我国的技术水平、研发能力等效应更加显著，因此对促进我国高新技术产业集聚的发展有重要意义。 本文主要致力于研究外商直接投资对产业集聚形成与发展的影响，首先对文献进行了梳理，重点讨论了外商直接投资对产业集聚影响的促进作用机制，外商直接投资改善了投资环境的同时，从示范集聚效应、产业链集聚效应、竞争集聚效应等方面对产业集聚程度的深化以及区域经济的发展提供了主动或被动的渠道。从全国外商直接投资的总量及地区分布特点、来源构成、投资方式、产业结构及我国高新技术产业集聚的总量、制度环境特点、产业集聚变化趋势方面进行现状分析，对于我国东、中、西三地区外商直接与产业集聚分布的不均现状原因进行分析。本文利用2009-2014年中国31个省份自治区的面板数据，构建变截距固定效应模型对产业集聚影响的因素进行回归分析。选取高新技术产业的外商直接投资、地区生产总值、研究与开发投入、基础设施、人力资本、政府税收政策六个解释变量对产业集聚度进行衡量，得出各个解释变量对于产业集聚的相关性及影响方向。并根据理论分析和实证结果，提出我国吸引外商直接投资以及促进产业集聚及地区经济发展的政策建议。