【摘 要】
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现代通信、电子以及计算机技术的飞速发展离不开光纤通信网络的支持,而光电子技术中的变频、调制、开关、偏转是光信息处理过程中不可缺少的技术。因此,高速电光调制器已经成
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现代通信、电子以及计算机技术的飞速发展离不开光纤通信网络的支持,而光电子技术中的变频、调制、开关、偏转是光信息处理过程中不可缺少的技术。因此,高速电光调制器已经成为光通信网络中不可替代的重要器件。极化聚合物电光调制器由于制备工艺简单、制作成本低、容易实现高带宽等显著优势,近年来倍受到国内外研究人员的重视。本论文的主要工作就是围绕极化聚合物电光调制器的研究展开的。论文重点阐述了利用掺杂型DR1/TiO2/SiO2杂化材料、SU-8紫外负性光刻胶、甲基丙烯酸甲酯共聚物以及铝电极,设计、制备加载条形光波导极化聚合物电光调制器的方法和过程。对器件的材料选择、结构设计、工艺制备以及性能测试进行了详细的论述,并提出了下一步研究工作的展望。本论文的主要创新点为:自主合成了掺杂型DR1/TiO2/SiO2杂化材料,并对材料的成膜特性、吸收特性以及电光特性进行了测试表征。针对合成的材料特点,提出了一种偏振不敏感的加载条形波导结构,利用掺杂型DR1/TiO2/SiO2杂化材料和SU-8紫外负性光刻胶,在国际上首次制备出M-Z结构的基于加载条形光波导的极化聚合物电光调制器。自主设计并搭建了包括光学和电学在内的高速电光器件测试系统,对制备成功的器件性能进行了测试分析。利用波导理论和保角变换原理,首次成功计算了加载条形波导结构和共面波导电极结构的电光重叠积分因子。这些工作为今后制备高指标的电光器件奠定了基础。
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