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厚膜微压传感器主要用于气体或液体的0~10KPa的微压力测量.在石化、冶金、电力、水文等行业压力、液位测量中广泛使用.此外,随着电子信息技术的发展,在农业、医疗、家电、空气动力装置等领域也开始大量使用,其需求量逐年增加. 该论文首先系统地介绍了厚膜技术基础知识及厚膜微压传感器设计的原理和方法.在此基础上,重点讨论了厚膜微压传感器的结构设计、线性化电路设计和传感器温度补偿问题.论述了传感器的制造工艺过程和测试结果.最后,对微压传感器的改进提出了一些措施.