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基于SPPs的亚波长光学成为光学和光子学中发展最为迅速的研究方向之一。利用金属纳米结构光散射，近场增强以及高度局域的表面等离子体共振能够很好的增强薄膜太阳电池的光吸收，提高电池的转换效率。该技术既可以用在传统的硅电池上也可以用在薄膜电池上，尤其适用于陷光结构的薄层太阳能电池中，并且易于和传统的电池制造工艺相结合，有实现商业化的潜力。基于这一背景，本课题提出并完成了硅基金属纳米结构太阳能电池部分研究。本文利用VC和Matlab结合再现整个硅基金属纳米结构太阳能电池的模式提取和光吸收过程，方便了程序的调试，从理论上分析和研究了底层为纳米金属槽结构的薄层非晶硅太阳能电池的光吸收情况。利用RCWA方法从总场中提取出包括表面等离子体（SPP）模式和光子模式（PM）的可传播的束缚模式波，并且量化的估计了这两种模式的波在光吸收中占据的重要作用。我们的结果显示从总场中除去这两种束缚波后的剩余场对光吸收产生的作用居于主导地位。在定量分析的基础上，表明这种底层金属槽状结构对光吸收产生的影响主要来自于金属槽散射产生的非束缚模式的作用，相反，SPP和PM的模式波在对光吸收产生的作用上并不是居于主导地位。