【摘 要】
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表面等离子体共振(SPR)技术能够精确地测量邻近金属膜的介质的折射率变化,已经被广泛用于传感器领域。TiN作为一种成本低、稳定性好、光学性能可调且与CMOS工艺兼容的新型等离子体材料,成为近期研究的热点。本文以TiN薄膜作为主体,采用棱镜耦合的方式产生表面等离子体共振(SPR)现象,棱镜和基底都采用BK7玻璃。具体研究内容如下:1.通过改进制备条件得到了具有等离子体特性的TiN薄膜,在空气中能产生
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表面等离子体共振(SPR)技术能够精确地测量邻近金属膜的介质的折射率变化,已经被广泛用于传感器领域。TiN作为一种成本低、稳定性好、光学性能可调且与CMOS工艺兼容的新型等离子体材料,成为近期研究的热点。本文以TiN薄膜作为主体,采用棱镜耦合的方式产生表面等离子体共振(SPR)现象,棱镜和基底都采用BK7玻璃。具体研究内容如下:1.通过改进制备条件得到了具有等离子体特性的TiN薄膜,在空气中能产生明显的SPR现象,研究表明,能够作为等离子体材料的TiN薄膜需要在高温、低本底真空条件下沉积,且对氮气氩
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滑坡是一种常见的地质灾害,威胁着人们生活、工作、学习的环境。四川省山区较多,地形条件复杂,滑坡灾害隐患分布广泛。因此,展开滑坡危险性研究对于降低滑坡灾害带来的损失有着重要意义,还可以为滑坡治理工作提供重要的决策支持和科学依据。本文对滑坡灾害的影响因子进行了分析,提取了滑坡的特征,并对提取的特征进行了处理。从机器学习方法入手,建立了滑坡危险性评价模型,对模型进行了调优,通过对模型评价结果进行验证和对
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