【摘 要】
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该文以无源场地表面波力敏传感器和无线测量系统为研究对象.研究首先从理论出发,推导了综合衡量SAW传感器基片性能的相应指标的理论计算方法.在此基础上,计算LiNbO、LiTaO晶
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该文以无源场地表面波力敏传感器和无线测量系统为研究对象.研究首先从理论出发,推导了综合衡量SAW传感器基片性能的相应指标的理论计算方法.在此基础上,计算LiNbO<,3>、LiTaO<,3>晶体基片各切向的性能指标.通过分析对比,确定了其中综合性能较好的基片切向,为无源SAW传感器的研究提供理论依据.在全面考虑了指条的各种效应的基础上,得到SAW分别在IDT、反射栅、自由基片表面上传播的等效电路模型.并利用网络分析方法短路金属条反射器的反射系数及带有一段自由表面的反射器的反射系数.建立了无源SAW力传感器等效电路模型,给出无源SAW力传感器的传输特性的计算方法.在上述工作的基础上,研究了设计了一种高灵敏度无源SAW力传感器.提出了访问信号和回波信号的理论模型.分析了访问信号的宽度、频率对测量的影响,系统地提出了精确测量时关键参数的确定方法.
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