【摘 要】
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GHz频段在无线通信领域中用途非常广泛，声表面波滤波器的使用频率随着通信技术的高速发展而不断提高，从数MHz发展到数GHz。通信系统向高频的发展趋势使得声表面波滤波器技术面
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GHz频段在无线通信领域中用途非常广泛，声表面波滤波器的使用频率随着通信技术的高速发展而不断提高，从数MHz发展到数GHz。通信系统向高频的发展趋势使得声表面波滤波器技术面临着越来越多的挑战。利用传统材料制作声表面波滤波器的中心频率很难达到GHz频段，因此探索在高声速材料基础上制作声表面波滤波器成为一种必然趋势。本课题在此背景基础上开展了采用高声速材料实现GHz声表面波滤波器的理论研究、结构设计、研制工艺和性能测试，内容概括为以下几点: (1)综述了声表面波技术的概念和特点、声表面波滤波器的原理和应用、以及高频声表面波滤波器的国内外发展状况; (2)研究了声表面波滤波器的理论机理，重点分析了声表面波的传播特性、叉指换能器的两种理论模型:σ函数模型和COM模型，以及加权叉指换能器和镜像阻抗连接叉指换能器的设计理论; (3)在第二点的研究基础上，基于IDT/ZnO/Diamond结构的薄膜声表面波滤波器，设计了加权叉指换能器和镜像阻抗连接叉指换能器的结构参数。对设计的两种结构分别采用Matlab和ADS软件进行了建模仿真; (4)对IDT/ZnO/Silicon和IDT/ZnO/Diamond结构的声表面波滤波器进行了工艺制作，主要研究了ZnO薄膜制作工艺和剥离工艺制备叉指换能器电极，获得了这两种结构的声表面波滤波器样品; (5)利用RF探针台对所制得的样品进行了性能测试和数据分析，测试结果表明在金刚石厚膜衬底上获得了频率超过1GHz的声表面波滤波器样品。
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