【摘 要】
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脉冲直流等离子体辅助化学气相沉积（PCVD）的硬质薄膜因其耐磨损、耐腐蚀、抗高温氧化等优异性能,在工具、模具及机械零部件领域具有广阔的应用前景.但目前工业化PCVD技术仍面临
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脉冲直流等离子体辅助化学气相沉积（PCVD）的硬质薄膜因其耐磨损、耐腐蚀、抗高温氧化等优异性能,在工具、模具及机械零部件领域具有广阔的应用前景.但目前工业化PCVD技术仍面临许多亟待解决的理论和技术问题,集中体现在较大真空反应室内等离子体特性及分布均匀性、等离子体参量和工艺条件之间的相互变化规律、薄膜制备中的主控工艺参量、复杂模具的镀膜均匀性以及苛刻工作环境中模具表面等离子体强化处理的工艺优化等.该文针对上述问题,结合国家八六三计划任务要求,在安装、调试及掌握自制工业型脉冲直流PCVD设备和技术的基础上,重点就工业型PCVD原单电探针等离子体诊断、TiN薄膜沉积过程及性能表征、PCVD技术应用于若干H13典型模具的最佳工艺途径等进行了研究.
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