PLCT(x)纳米微粉和铁电薄膜的Sol-Gel法制备及其结构和性能研究

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本论文利用无机盐原料及单一金属醇盐,采用Sol—Gel技术,制备了PLCT(x)纳米微粉及纳米陶瓷、PLCT(x)铁电薄膜以及PLCT(x)/Pt/Ti/SiO_2/Si多层异质结构,采用XRD、SEM、RAMAN、AFM、RBS、粒径分析、椭圆偏振法等现代分析技术,对PLCT(x)纳米粉体、陶瓷及薄膜的晶体结构、表面形貌、化学组分、薄膜厚度以及材料的退火工艺进行了研究;测试了PLCT(x)陶瓷的介电常数—频率、介质损耗—频率的关系,测试了PLCT(x)薄膜的电滞回线。得出如下研究结果:
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