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本研究采用非水解溶胶-凝胶法(NHSG),以无水三氯化铝和四氯化钛为前驱体,乙醇为氧供体,乙醇铁为稳定剂,环保型高沸点混合二元酸二甲酯DBE为溶剂,在碳化硅基片上成功制备稳定化钛酸铝(A12Ti05)薄膜。运用DTA-TG、XRD、SEM和粘度计等测试手段首先研究了溶剂的种类、加入时机、用量和陈化时间等工艺因素对稳定化钛酸铝溶胶的影响;并对稳定化钛酸铝干凝胶粉热处理过程中的相变化进行了分析;同时,探讨了稳定剂种类与用量、氧供体醇种类和镀膜环境等对钛酸铝薄膜稳定化效果的影响,以及镀膜工艺参数对成膜质量