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离子注入钽酸锂和铌酸锂中的射程分布及损伤行为
【机 构】
:
山东大学
【出 处】
:
山东大学
【发表日期】
:
1994年期
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在近年来的高科技产业的发展中,碳、硅材料在高科技产业及凝聚态物理学的基础研究中扮演着重要的角色,研究人员一直致力于对新型的含碳和含硅的先进材料进行研究,尤其是硅的半导