【摘 要】
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非接触式电容测微技术是微/纳米测量新技术中重要的一种,在近年来得到迅速发展。它具有动态响应快、温度稳定性好、测量范围大、精度高、体积小、重量轻、结构简单、系统固有频率高等特点。因而在航空、航天、工业生产部门等领域的微小位移、振动、尺寸、角度、压力测量中得到广泛应用。电容测微技术在静态和准静态测量方面已有较多研究成果,但在动态测量方面正处于攻坚阶段。比如动态滤波问题,传感器和测量电路动态频响的提高,
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非接触式电容测微技术是微/纳米测量新技术中重要的一种,在近年来得到迅速发展。它具有动态响应快、温度稳定性好、测量范围大、精度高、体积小、重量轻、结构简单、系统固有频率高等特点。因而在航空、航天、工业生产部门等领域的微小位移、振动、尺寸、角度、压力测量中得到广泛应用。电容测微技术在静态和准静态测量方面已有较多研究成果,但在动态测量方面正处于攻坚阶段。比如动态滤波问题,传感器和测量电路动态频响的提高,信号幅值精密测量和波形显示,稳定性问题等等都亟待解决。本文研究的目的就是在提高静态和准静态测量
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