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由于具有优良的性能,如铁电性、压电性、介电性、热释电性以及非线性光学等物理特性使得铁电薄膜材料成为当前新型功能材料研究热点之一。这类材料在现代微电子、微机电系统(MEMS)、信息存储等方面有着广泛的应用,必将成为未来微电子器件行业的材料支柱。铁电薄膜的铁电畴结构及其畴变规律决定着铁电体的物理性质和应用方向。在铁电体的研究热潮中,铁电畴是科研工作者关心的重点之一,研究者主要从实验和理论模拟两个角度出揭示其畴变机理。在实验上,压电力显微镜(PFM)是重要的实验仪器之一,利用它来观测铁电薄膜的畴变过程,由