【摘 要】
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偏振光学系统在浸没光学光刻、激光微纳加工、偏振成像探测等领域的应用日益广泛，它对偏振元器件的加工、装调要求也日渐提高，偏振元器件的相位延迟量和快轴方位角的快速、精确
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偏振光学系统在浸没光学光刻、激光微纳加工、偏振成像探测等领域的应用日益广泛，它对偏振元器件的加工、装调要求也日渐提高，偏振元器件的相位延迟量和快轴方位角的快速、精确、实时测量显得尤为重要。现有测量方法存在机械转动频繁、相位调制复杂、光栅分束精度低等缺点，本文围绕相位延迟量和快轴方位角的测量展开研究，以实现偏振器件参数的快速、精确测量，主要包括以下方面。 1.概述了偏振光的产生、描述方法，分析了现有的偏振元器件测量技术。阐述了液晶波片的工作原理，分析了液晶波片的时间响应特性和相位延迟特性。 2.研究了一种基于单液晶波片的相位延迟量和快轴方位角测量方法。该方法利用液晶波片的相位延迟量可变特点，实现了波片相位延迟量和快轴方位角的同时测量，具有简单的结构。 3.研究了一种基于多液晶波片的相位延迟量和快轴方位角测量方法，设计并构建了对应的测量装置。测量装置由激光器模块、液晶调制模块、检偏器、光电探测模块构成，将可在多波长条件下实现偏振器件相位延迟量和快轴方位角的快速、精确测量。 4.提出了一种相位延迟量和快轴方位角测量仪器的校准方法。该方法通过反演测量传递矩阵来实现校准，实验验证了该方法的有效性。
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