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半导体制造是一种非常重要的产业,制造过程的建模、仿真、调度和控制具有关键的作用.该文采用离散事件仿真方法、决策规则方法、基于流体网络模型的优化方法和基于数值分析的多目标分析方法,提出了多个模型相互交互的层次化结构化多模型仿真和调度方法.内容涉及系统的建模仿真、决策规则、数值统计、优化调度以及调度的多目标综合评价等方面.