【摘 要】
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本文利用光学显微镜(OM)、X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)、透射电镜(TEM)和电子背散射衍射(EBSD)分析了铸造的非晶成分钴基合金溅射靶材的微观组织,用SEM中的能谱(EDS)确定
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本文利用光学显微镜(OM)、X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)、透射电镜(TEM)和电子背散射衍射(EBSD)分析了铸造的非晶成分钴基合金溅射靶材的微观组织,用SEM中的能谱(EDS)确定了各组成相的成分,用差示扫描量热仪(DSC)测量了合金的熔点和各组织形成温度。微观组织分析结果显示铸造非晶成分钴基合金中仅残存非常少量的孔隙,各组成相尺寸细小、分布均匀。基于铸造合金的微观组织和DSC结果,对凝固过程中微观组织形成和演化进行了分析和讨论。在不同温度和不同压缩比下,对纯铝、纯铜进行了多向压缩(MAC)变形,并对变形的纯铝、纯铜进行退火已使其发生再结晶,利用微观硬度计和光学显微镜(OM),研究了纯铝、纯铜在不同温度、不同压缩比变形过程中微观硬度和组织,研究了变形纯铝、纯铜退火后的硬度和微观组织。研究结果表明:常温下压缩纯铝过程中发现,硬度随压缩道次没有显著变化,分析认为纯铝层错能高,也不存在第二相钉扎位错,易引起动态回复;随后实验采用提高压缩比和降低温度的方法变形加工,压缩比的增大会使硬度提高,温度降低硬度明显提高,晶粒更细;最小压缩比试样三个周期后表面硬度增加28.5%,中心硬度提高41.7%,中心区域晶粒尺寸平均为19.09μm。纯铜由于层错能低,改善措施,与压缩纯铝相比效果不太明显,液氮下试样压缩三个周期后表面硬度增加29.91%,中心硬度增加35.61%,晶粒细化到平均3.50μm。
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