【摘 要】
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该文围绕如何提高CCD的电荷传输效率开展研究工作,完成了CCD电荷传输效率优化设计软件的开发,可对CCD电荷传输效率的提高提供指导意见.首先,对CCD工作的物理基础和基本原理进
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该文围绕如何提高CCD的电荷传输效率开展研究工作,完成了CCD电荷传输效率优化设计软件的开发,可对CCD电荷传输效率的提高提供指导意见.首先,对CCD工作的物理基础和基本原理进行了分析,比较了表面沟CCD和埋沟CCD的工作方式及性能,讨论了影响CCD电荷传输效率的各种物理机制.其次,在自由电荷传输模型的基础上,考虑了载流子迁移率和表面态对电荷传输的影响,用解析方法求解了泊松方程和电流连续方程.然后在该模型的基础上,完成了CCD电荷传输效率优化设计软件的开发.该软件是在WINDOWS下开发的一个32位软件,可对不同参数条件下的电荷传输效率、势阱容量及最小边缘场等特性参数进行模拟,为设计人员提供了优化设计工具,具有一定的实用价值.最后,着重对影响电荷传输效率的各种因素(包括材料参数、工艺参数和版图参数等)进行了模拟和分析,并就如何进一步提高CCD的电荷传输效率提出了具体的意见.
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