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半导体装备业是一个投资密集、技术密集、发展迅速、竞争激烈的产业。如今，半导体装备制造的过程正逐渐趋于标准化，使用一种将数个机台整合在一起的集束式制造设备作为标准化生产设备。为了满足半导体制造过程的标准化和通用化，符合国际标准的集束式半导体装备控制系统开发平台成为了国际上半导体装备控制系统的通用解决方案。国际上自动化软件公司如美国的PeerGroup公司、韩国的Kornic Systems公司等都已相继推出了自己的产品。
国内的半导体装备制造设备和控制系统以引进为主，对制造设备和设备控制系统的全面自主研发是我国对半导体装备制造业的迫切要求。自主研发具有自主知识产权的符合国际标准的集束式半导体装备控制系统开发平台是提高国内的半导体装备制造与生产改造能力、降低半导体装备控制系统实施难度和成本、突破国外在极大规模集成电路制造技术和成套工艺等方面技术垄断的重要手段。
本文以半导体装备制造过程中的重要组成部分物料传输系统作为研究对象，设计和实现了半导体装备物料传输软件平台。首先对大多数半导体装备生产厂商物料传输系统的通用需求做了分析，在此需求分析的基础上根据标准性和通用性的原则设计软件平台的系统架构。然后对软件的功能架构进行了模块化的划分，将具备不同功能的模块独立开发，提高软件的复用性。最后使用面向对象的语言C++编程实现。为验证软件平台的适用性，使用大气机械手和真空机械手构成的物料传输平台对系统的进行了测试与验证，结果显示基于物料传输软件平台能够快速完成实验平台控制软件的开发。
本文还考虑物料传输系统在工厂应用中对工厂自动化的支持，并严格遵循SEMI国际标准对半导体装备控制软件的开发过程的相关定义。
本课题的研究对于帮助企业在已有物料传输软件平台的基础上根据自身需求进行快速的二次开发，提高开发效率，降低开发成本，缩短我国在通用性半导体装备系统的研究方面与国际上的差距，具有十分重要的意义。