【摘 要】
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随着微、纳米科学与技术的发展,以形状尺寸微小、操作尺度极小为特征的微机械已成为人们从微观角度认识和改造客观世界的一种高新技术.在微机械的研究领域中,微细加工包括微
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随着微、纳米科学与技术的发展,以形状尺寸微小、操作尺度极小为特征的微机械已成为人们从微观角度认识和改造客观世界的一种高新技术.在微机械的研究领域中,微细加工包括微米级微细加工,亚微米级微细加工和纳米级微细加工等.该文首先介绍了分子动力学模拟的理论基础.通过对基本方程的推导和对势函数、边界条件以及运动方程算法的分析,建立了两种材料的分子动力学模型.我们采用Morse势函数描述原子间的相互作用,通过牛顿方程建立了力学运动方程,使用改进后的Verlet算法求解原子运动轨迹.在求解过程中,为了减少由于仿真原子数远小于实际情况中原子数所引起“有限尺寸效应”,对模型边缘施加“刚性边界条件”.为减少计算时间采用了“截断势”的作法.为控制温度在给定的范围,采用了速度标定法.
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