【摘 要】
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数字散斑剪切干涉术是起源于散斑干涉且应用广泛的干涉检测方法，将数字图像处理和散斑剪切干涉术结合在一起，测量精度能达到几十纳米，可检测复杂物体的面型。 本文探究了基于
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数字散斑剪切干涉术是起源于散斑干涉且应用广泛的干涉检测方法，将数字图像处理和散斑剪切干涉术结合在一起，测量精度能达到几十纳米，可检测复杂物体的面型。 本文探究了基于数字散斑剪切干涉术的物体面型的三维测试技术。实验采用泰曼-格林光路系统，通过旋转反射镜的方法，使物光束散斑场发生偏转，再由CCD记录偏转前、后物光束和参考光束的干涉场。存储到计算机中，对采集到的散斑干涉图用MATLAB软件进行相减运算，得到物体面型的散斑剪切干涉条纹图。 应用MATLAB软件编程，对条纹图进行数字图像处理，增强条纹清晰度后，控制剪切散斑干涉图的精确定向平移，得到了4个干涉条纹图，实现了数字四步相移，得到物体面型的三维图。
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