【摘 要】
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随着当今通信系统的发展，人们对通信带宽与速度要求越来越高。移动通讯设备在不断地向高速、高频方向发展。声表面波器件因其信号传递原理的特殊性，在小型化方面有其独特的优势
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随着当今通信系统的发展，人们对通信带宽与速度要求越来越高。移动通讯设备在不断地向高速、高频方向发展。声表面波器件因其信号传递原理的特殊性，在小型化方面有其独特的优势，因此已在越来越多的移动通讯终端中得到普及。其典型器件如滤波器、谐振器、延迟线、卷积器和射频识别标签等已得到广泛的应用。 本文就高频声表面波器件的设计方面作了大量的研究。设计了一款支持WiFi2.4G频段和5G频段的声表面波双讯器，解决了当下WiFi2.4GHz频段网络状况复杂、容量小与WiFi5g频段衍射能力弱的矛盾，使其既享有2.4G衍射性能强、穿墙能力好的优点，又可以同时享有5g的高速与高带宽。此双讯器将两频段下高数据传输率与强衍射两个优良性能结合在了一起，具有极为显著的现实应用意义。 文中在阐述了用于声表面波器件分析的各类模型的前提下，着重就利用有限元多物理场仿真软件COMSOL仿真分析声表面波器件传输规律方面做了大量的仿真研究，此项工作有助于高精度的声表面波器件的研制。借助现代化仿真工具的优秀计算性能，为降低研发成本，探索器件优化方案提供更多可能。 本双讯器设计采用了多带耦合、反射栅、结构对称三种方案结合的方式，并在COMSOL下仿真得出了各项参数。为优化性能，采用了衬底底部深浅交叉横竖开槽的方案，且从传统的声表面波传感器结构上得到启发，将多层组合结构应用于声表面波滤波器,把传统的两层IDT/3LiNbO结构改为IDT/3LiNbO/金钢石三层结构，此结构结合了3LiNbO耦合系数高与金刚石波速大的两项优点，为2.4g和5g频段下的滤波器插损各降低了1.2dB和1.1dB.使双讯器在两个频段的插损分别达到了2.6dB和3.1dB。该设计基本满足器件应用方面的要求。
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