【摘 要】
：
半导体行业发展迅猛,已步入纳米时代,对掩膜版线宽进行精确测量并将其测量值溯源至国际长度基准的问题急需解决。针对这一问题,中国计量科学研究院研制了计量型紫外光学显微
论文部分内容阅读
半导体行业发展迅猛,已步入纳米时代,对掩膜版线宽进行精确测量并将其测量值溯源至国际长度基准的问题急需解决。针对这一问题,中国计量科学研究院研制了计量型紫外光学显微镜微纳线宽测量装置。该装置需要二维纳米位移台直接承载掩膜版待测样品,达到纳米级定位精度以及纳米级的运动精度。本文针对应用于紫外光学显微镜的重载大开孔二维纳米位移台进行研究,主要研究内容如下:(1)分析重载大开孔二维纳米位移台研究的必要性,根据紫外装置的需要,确定了位移台设计技术指标。(2)设计重载大开孔二维纳米位移台。为实现二维纳米位移,采用压电陶瓷作为微位移驱动器,柔性铰链作为运动执行机构,叠加支链为柔性导向机构,二维运动组合机构为串联式,通过激光干涉测量法实现位移测量。完成位移台结构设计。(3)对位移台性能进行理论分析及有限元验证。为分析位移性能,对位移台建模并计算得到刚度、耦合刚度、角摆调节、集中应力、固有频率的解析公式,利用有限元分析验证了理论解析公式的可靠性。利用有限元对承重性能进行分析计算。根据位移性能及承重性能分析结果,明确叠加支链结构参数对位移台性能的影响,并根据需要确定位移台结构参数。(4)设计并搭建测试系统,对位移台性能进行测试并分析实验结果。为提高位移台性能,对其进行位移补偿并修正耦合位移及角摆。实验结果证明补偿及修正效果良好,位移台满足使用需要,位移台设计可靠。
其他文献
文化自信的提出,是源于中华民族5000年的文明,是根据改革开放四十年来中国特色社会主义建设中取得的成就及其存在的矛盾和问题;文化自信的强调,再次坚定了马克思主义在中国的指导地位,保证中国共产党对主流意识形态的控制,确保文化的安全;文化自信的构建以中国优秀传统文化和革命文化为根源来进行中国特色社会主义先进文化建设。改革开放40年取得的巨大成就,都归功于以中国共产党为核心的领导,爱国主义为核心的民族精
本论文针对超宽带隙半导体材料BN器件展开了相关的研究。超宽带隙半导体材料具有带隙大,电子迀移率高、击穿场强大以及高温稳定等特点,成为制备高温、高功率电学器件以及深紫
表面裂纹是零件失效的常见形式,影响了零件使用的安全性,缩短了产品的使用寿命,所以对裂纹进行修复具有重要的应用价值。激光修复由于具有修复性能好,热影响区域小等诸多优势
目的:研究肾小球滤过率与急性脑梗死患者颈动脉狭窄程度的相关关系。方法:根据头CT、MRI等检查结果选择临床确诊为急性脑梗塞的患者220例,入组患者住院后均需完善肾功能等相
随着雷达、卫星、电子侦查以及下一代无线通信的快速发展,对工作带宽以及信号频率提出了越来越高的要求。但由于传统电子技术存在电子瓶颈,无法应对未来的需求。光载无线通信ROF(Radio-over-Fiber)是将无线通信与光纤通信两者优点相融合的新兴技术,它既拥有光纤通信工作带宽大、传输损耗低、成本低等优势,同时具备了无线通信机动、灵活等特点,相比于传统电子技术有明显的优势。微波本振信号作为ROF系统
以石墨烯为代表的微纳结构由于其较高的比表面积和良好的导电性在传感、储能、传热和光电器件等领域应用广泛。传统石墨烯制造方法如机械剥离、气相沉积、外延生长和还原法等
1840年鸦片战争后,中国被迫打开国门,外国传教士纷纷来华,拉开了第二次西学东渐的帷幕。为了更好的传教,英国伦敦宣道会创办了上海最早的现代出版机构——墨海书馆,翻译出版
以语篇作为翻译的研究单位时,译者首先考虑的应当是语篇的核心因素——衔接。语篇的衔接不仅体现在句子的内部结构和句子的前后连接上,也体现在段落之间的呼应及整个语篇的谋篇布局上,只有具备语篇衔接意识,才能准确地理解原文,合理地构建译文。由于英汉两种语言在语篇衔接方面存在差异,如何在翻译过程中使得源语文本的意义、逻辑和风格在目标语文本中传达出来,从而达到等值效果,尽可能地减少读者的理解障碍,成为值得研究的
目的:近些年,关于正念的研究越来越多,正念在心理学、医学方面应用广泛且取得了显著成果,在体育竞技方面的应用也不断增加,通过对运动员的干预训练,运动员在比赛成绩上有了明显的提升。但是正念在大学生学习运动技能方面应用较少,本文是在总结前人有关正念训练、正念训练与体育运动等研究的基础上,对大学生进行八周的正念训练干预,探究正念训练干预下心境变化对大学生篮球罚篮成绩的影响,探索正念训练在大学生运动学习方面
近年来云计算规模不断扩大,伴随着容器技术的迅速成熟,采用容器即服务(Container as a Service,CaaS)的云数据中心市场占用率愈来愈高,由此带来的能耗问题日趋明显。在云数据