【摘 要】
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该文对Y旋转切石英基片各个传播方向上存在的常规声表面波、漏剪切声表面波和准纵漏声表面波波动模式进行了理论分析与实验研究.理论分析认为,在Y旋转46°切石英基片Euler角
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该文对Y旋转切石英基片各个传播方向上存在的常规声表面波、漏剪切声表面波和准纵漏声表面波波动模式进行了理论分析与实验研究.理论分析认为,在Y旋转46°切石英基片Euler角为[0°,136°,50°]传播方向上,漏剪切声表面波模式波衰减非常大,因而只有常规声表面波和准纵漏声表面波波动模式可被检测到.在此传播方向上,常规声表面波与准纵漏声表面波传播速度分别为3328.2m/s和6745.46m/s,机电耦合系数分别为0.096%和0.0012%.准纵漏声表面波频率温度系数实验测定值为-31.13ppm/℃.准纵漏声表面波传播介质粒子振动方向接近于传播方向,因而当有液体放置在收发叉指换能器之间时几乎没有准纵漏声表面波辐射进入液体,使得准纵漏声表面波可用于声表面波传感器应用领域.1.在理论和实验上对Y旋转切石英上表面声模式尤其是准给漏声表面波的传播特性作了比较全面的研究;2.首次提出将准纵漏声表面波应用于液体直接接触式传感;3.对石英上准纵漏声表面波的温度稳定性作了比较系统的理论与实验研究;4.提出将石英上准纵漏表面声波模式应用于温度传感.
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