【摘 要】
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本文首先建立了单晶硅和单晶铜纳米切削过程的三维分子动力学仿真模型,并编制了相应的软件.分别从不同时刻的瞬间原子位置图、原子的部分径向分布函数图、切削过程中能量的演
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本文首先建立了单晶硅和单晶铜纳米切削过程的三维分子动力学仿真模型,并编制了相应的软件.分别从不同时刻的瞬间原子位置图、原子的部分径向分布函数图、切削过程中能量的演化和切削力的变化等方面分析了工件切削过程中变形机理和已加工表面的形成过程.仿真结果表明,单晶铜的体相和已加工表面的晶体结构基本没有发生变化,而切屑的晶体结构发生了改变.切削过程中产生的位错及其运动引起了切削力和表面能的剧烈变化,且刀具经过以后已加工表面有明显的弹性恢复.单晶硅的体相晶体结构发生了改变,切屑和已加工表面发生了非晶相变,主切削力和法向切削力对非晶相变起着不同的作用.切削过程中没有明显的位错和弹性恢复产生.其次,将分子动力学和蒙特卡罗方法相结合仿真真空环境下表面弛豫和一般空气介质环境下表面吸附对已加工表面形态的影响.从已加工工件的表面能、原子排列结构、表面粗糙度、表面硬度和表面应力等方面分析了表面弛豫对已加工表面形态的影响.结果表明,单晶铜表面残余应力由弛豫前的压应力变成弛豫后的拉应力,表面弛豫降低了已加工表面的表面能和表面硬度,同时表面弛豫也减弱了加工硬化现象.从表面能和表面硬度等方面分析了单晶硅表面吸附的影响,研究表明表面吸附降低了表面能,但是加强了加工硬化现象.最后,为了解决分子动力学仿真规模的瓶颈问题,提出了分子动力学计算的并行化,通过对单晶硅纳米切削过程的串行和并行仿真结果比较,从瞬间原子位置图和切削力等方面验证了并行程序的正确性.另外通过比较在不同节点机台数的机群上仿真不同工件尺寸的并行结果,分析了并行程序的稳定性、扩展性和有效性.开发了分子动力学并行化仿真软件,并对单晶硅纳米切削过程进行了仿真,同时对仿真结果进行了原子力显微镜纳米加工实验验证.仿真中采用的刀具刃长和工件单方向尺度达到了20~50nm,切削深度为2.714 nm,与实验中金刚石针尖半径和刻划深度在同一数量级.仿真结果和实验结果表明单位切削力在同一数量级,主切削力都在μN级.
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