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针对全球范围内能源紧张的局面,太阳能作为绿色能源越来越受到世界各国的重视。光伏发电是太阳能利用的主要形式,具有广阔的发展前景。光伏太阳能电池板上要求生产PN结。在半导体PN结器件生产过程中,要求扩散气体恒温在20℃(±0.1℃)。本文的设计就是用于生产半导体PN结时保证扩散气体的恒温槽。介绍了恒温槽测控系统的硬件构成,包括触摸屏、PLC、半导体制冷器、电热管、热电偶和信号调理电路等。对恒温控制系统的模糊PID控制器进行了设计。模糊PID控制满足了高精度控制领域中时变系统的控制精度要求,系