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在相控阵雷达系统、电子战、卫星通讯和其他机载应用中,微波介质元器件尺寸和重量已成为电子系统设计考虑的主要因素。为了实现微波器件及电路的小型化、集成化,人们开始考虑薄膜化介电频率器件。由于多层介电薄膜结构具有更低的插损、更高的品质因子以及更好的耦合特性,在微波频率下体现出高稳定性(接近于零的频率温度系数τ_f)与低损耗(高品质因子Q)的特点,可以满足单片微波集成电路(MMIC)小型化的需要,对实现微波器件的集成化和高品质化具有重要的实际意义和实用价值。本论文采用Pechini方法制备了Ca(