【摘 要】
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当世界迈入二十一世纪，社会的发展愈加依赖以信息技术为核心等高科技产业的创新和进步。移动互联网、云计算、大数据等信息技术的逐渐成熟不仅引领了信息产业的快速发展，而且为
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当世界迈入二十一世纪，社会的发展愈加依赖以信息技术为核心等高科技产业的创新和进步。移动互联网、云计算、大数据等信息技术的逐渐成熟不仅引领了信息产业的快速发展，而且为其它传统行业孕育了新的商业模式，极大带动了整体国民经济的发展。集成电路是信息产业的基础，新技术诞生的背后离不开高性能集成电路的支持。在现代规模化集成电路生产制造环节，投影光刻机是最为关键的装备，它的性能好坏决定了集成电路的性能。因此研究投影光刻机核心技术之一的调焦调平技术具有重要应用意义。 调焦调平涉及光学系统设计、信号探测与处理、精密定位等关键技术，其中精密定位是其核心技术，是影响调焦精度的重要因素。一个精密定位系统通常包含三部分:执行机构、位置测量机构和控制机构。本文首先从这三个方面回顾了精密定位技术的发展历史，接下来简单介绍调焦调平系统的工作原理及其硬件结构，然后基于LABVIEW语言开发了用于调焦的数字PID控制系统，最后在实验室环境中实验测试了该系统的调焦精度，同时研究环境因素对调焦精度的影响。 取得的主要成果如下: 1.搭建了一套调焦模拟实验装置，对调焦原理进行了实验验证。 2.数字控制系统实现了对调焦系统的闭环反馈控制，数字控制器指令周期达到10ms，最后调焦精度达到30nm。 3.实验发现振动和温度变化这两种环境因素对调焦精度有明显影响，其中振动的影响更为明显。为了得到更好的调焦精度，需要加入主被动隔振、恒温系统等环境控制装置。
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