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高精度的非球面的检测技术一直是光学制造检测领域致力于研究解决的关键技术之一,计算全息法(CGH)检测非球面技术可以说是这项技术的一大突破,然而计算全息图在检测光路中的对准问题仍然是实际检验中的一大难题。本文对计算全息的对准问题展开研究。
论文首先从非球面的基本概念入手,概括了非球面的基本概念和常用的检测方法及它们各自的优点和局限性。重点介绍了计算全息法检测非球面的原理及测量中要了解的问题,并且对计算全息测量法中误差源进行总结和分析,说明了非球面检测中消除误差的重要性,从而引出了进行计算全息对准的必要性。论文对常用的计算全息对准方法进行了总结,分析了各种方法的优点和局限性。论文还对调整量和像差关系进行了计算分析,从理论上去验证计算全息调整量对系统像差的影响。论文还对计算全息系统进行了仿真,通过调节计算全息的位置,研究计算全息各个自由度对像差的影响,并且通过改变入射张角对调整量灵敏度进行分析。最后我们利用实验数据进一步说明了计算全息位置调整的影响,并给出了计算全息对准干涉图条纹分辨极限。