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氧化锌薄膜是一种重要的Ⅱ-Ⅵ族宽带隙半导体薄膜材料,具有较块体更为优异的光、电、磁等性能,可以用来制作场发射器件、紫外纳米激光器、光电探测器、太阳能电池、催化剂、化学传感器等.所以,不论在基础研究还是在实际应用方面,对氧化锌薄膜的制备、性能、生长机理及应用的研究都具有重要的意义.但是,不同的实验方法和制备环境下得到的ZnO样品形貌多样、结晶质量不同、物理性质差异极其明显.本论文的主要研究内容如下：1.本文通过射频磁控溅射方法(RF magnetron sputtering),