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【摘 要】
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在人类探索微观世界的进程中，对微观目标物实现操作和控制的需求同宏观尺度一样无处不在。随着人们对众多工业产品小型化、集成化的不断需求，微操作技术日益凸现其重要性，在微电
【机 构】
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中国科学院大学
【出 处】
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中国科学院研究生院 中国科学院大学
【发表日期】
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2011年期
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