论文部分内容阅读
金刚石薄膜有许多优异的性质,存在着广阔的工业应用前景.但在金刚石薄膜的应用中,存在着一些相关的技术或经济困难:如金刚石薄膜与基体的附着较差,产品的成本过高等问题.该论文就金刚石薄膜在铜上的制备及其附着力进行了详细的讨论.另外,利用Cu植入后改善了金刚石薄膜在WC-Co硬质合金上的附首力,并探讨了微波法中利用乙醇和氢气作为气源时金刚石薄膜的沉积工艺.