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电子束蒸镀法制备高定向YSZ薄膜工艺、结构及机理研究

来源 :哈尔滨工业大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：chenshuae9o

【作 者】

：

房诗舒 

【出 处】

：

哈尔滨工业大学

【发表日期】

：

2021年01期

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