【摘 要】
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该文论述的主要内容是微药物控释系统中微型泵的设计、仿真分析、加工和性能测试工作. 该文首先结合作者对MEMS的认识和一年多的超净室工作经验简略介绍了微型泵的加工和制造
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该文论述的主要内容是微药物控释系统中微型泵的设计、仿真分析、加工和性能测试工作. 该文首先结合作者对MEMS的认识和一年多的超净室工作经验简略介绍了微型泵的加工和制造中所必需用到的微细加工技术. 微型泵致动元件——热双金属结构的设计是该文重点阐述的问题之一.该文主要阐述微型泵双金属膜片的设计、有限元仿真优化过程以及微型泵的整体方案设计与最终核心尺寸参数的确定.微型泵的制作是该文的另一重点.作者对微型泵制作中的关键加工技术和不同工艺流程方案进行了探讨,并最终确定了微型泵的加工工艺流程,完成了微型泵的制作. 最后建立了微型泵的振动模型,并进行了流量和振动分析;搭建了实验台,在空载情况下进行了微型泵驱动膜片振动情况的性能测试.
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