【摘 要】
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低气压放电等离子体在新型薄膜材料的制备工艺中有着广阔的应用前景,但由于等离子体不稳定性的存在使工件表面常常受到污染,严重影响了制膜质量.因此,对低气压放电等离子体不
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低气压放电等离子体在新型薄膜材料的制备工艺中有着广阔的应用前景,但由于等离子体不稳定性的存在使工件表面常常受到污染,严重影响了制膜质量.因此,对低气压放电等离子体不稳定性机理的研究对推动等离子体技术在这方面应用的产业化有着十分重要的意义.该文所要研究的是由于电子密度扰动而引起的低气压放电等离子体的不稳定性问题.这是一种宏观不稳定性,作者采用流体力学模型,用简正模分析的方法讨论了影响不稳定性的因素.假设所考虑的低气压放电等离子体系统是由完全电离的自由气体组成.作者把电子的连续性方程、欧姆定律和能量平衡方程联立,建立研究电离不稳定性的流体力学方程组.首先通过线性近似得到一组线性化方程组,再辅以Maxwell方程,用简正模分析的方法最后得到线性扰动波频率虚部的表达式,借此分别讨论长波近似和短波近似情况下的等离子体不稳定性.非线性问题是目前等离子体不稳定性研究领域内备受关注的课题.该文从基本方程出发,得到了关于一阶和二阶扰动量的非线性方程组,并考虑了孤立波解的特点做了单变量变换.
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